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          1. 超凈工作臺塵埃粒子數的檢測記錄表


            超凈工作(gōng zuò)臺塵埃粒子數的檢測(檢查并測試)記錄(jì lù)表
            采樣點
            A
            B
            C
             
             
             
             
            **次
            采樣次數
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            ≥0.5μm
            35
            36
            37
            56
            55
            57
            43
            44
            45
            平均值(The average value)
            36
            56
            44
            ≥5μm
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            平均值(The average value)
            0
            0
            0
            第二次
            采樣次數
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            ≥0.5μm
            41
            43
            42
            45
            46
            47
            46
            43
            43
             
            平均值(The average value)
            42
            46
            44
            ≥5μm
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            平均值(The average value)
            0
            0
            0
            第三次
            采樣次數
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            1
            2
            3
            ≥0.5μm
            46
            7
            9
            11
            17
            51
            14
            9
            2
             
            平均值(The average value)
            21
            27
            9
            ≥5μm
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            0
            平均值(The average value)
            0
            0
            0
            標準(biāo zhǔn)規定(guī dìng)
            ≥0.5μm塵粒數(粒?m-3)
            ≤3500
            ≥5μm塵粒數(粒?m-3)
            0
              結論
            符合標準(biāo zhǔn)規定(guī dìng)
            巡查人:唐鵬程  復核(審查核對)人:蔣銘強            巡查日期:2013-04-24
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